Siridion® DCS

Dichlorsilan, DCS, SiH2Cl2

Ultrahochreines Dichlorsilan der Marke Siridion® ist ein wichtiger Rohstoff für die epitaktische Beschichtung von Halbleiterwafern mit Silizium bei niedrigen Temperaturen. Desweiteren wird ultrahochreines Dichlorsilan auch für die Abscheidung von siliziumhaltigen, funktionellen Schichten wie z.B. Siliziumnitrid bei der Halbleiterherstellung eingesetzt.

Siridion® HCDS

Hexachlordisilan, HCDS, Si2Cl6

Ultrahochreines Hexachlordisilan der Marke Siridion® ist ein Rohstoff, der in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung (chemical vapor deposition, CVD) von siliziumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt wird. Ultrahochreines Hexachlordisilan findet dabei schwerpunktmäßig Einsatz für die Herstellung von Speicherchips der neuesten Generation mit höchsten Speicherdichten.

Siridion® SiH

Monosilan, MS, SiH4

Ultrahochreines Monosilan der Marke Siridion® ist ein wichtiger Rohstoff für die Herstellung von Solar-Silizium, das als Halbleitermaterial für Dickschicht-Solarmodule eingesetzt wird. Ultrahochreines Monosilan ist auch der Rohstoff für die Produktion von Dünnschicht-Solarmodulen auf Silizumbasis (amorph / mikromorph, a-Si / µ-Si) und wird bei der Herstellung von Flachbildschirmen in Form von funktionellen siliziumhaltigen Schichten abgeschieden, die die Ansteuerung von einzelnen Bildpunkten ermöglichen. Desweiteren wird ultrahochreines Monosilan auch für die Abscheidung von siliziumhaltigen, funktionellen Schichten bei der Halbleiterherstellung eingesetzt.

Siridion® TCS

Trichlorsilan, TCS, SiHCl3

Ultrahochreines Trichlorsilan der Marke Siridion® ist der wichtigste Rohstoff für die Herstellung von Solar- und Halbleiter-Silizium. Solarsilizium wird als Halbleitermaterial für Dickschicht-Solarmodule eingesetzt, Halbleitersilizium dient zur Fertigung von Halbleiterwafern. Ultrahochreines Trichlorsilan ist auch der wichtigste Rohstoff für die epitaktische Beschichtung von Halbleiterwafern mit Silizium.

Siridion® STC

Siliziumtetrachlorid, Tetrachlorsilan, Siltet, STC, SiCl4

Ultrahochreines Siliziumtetrachlorid der Marke Siridion® ist der Schlüsselrohstoff für die Herstellung von Lichtwellenleitern. Außerdem wird es zur Herstellung von polykristallinem Silizium für die Halbleiter- und Photovoltaik-Industrie eingesetzt. Desweiteren findet es Verwendung bei der Fertigung von synthetischem Quarzglas wie z.B. Quarzglasrohren und wird in zahlreichen Spezialanwendungen genutzt.

Siridion® GTC

Germaniumtetrachlorid, GTC, GeCl4

Ultrahochreines Germaniumtetrachlorid der Marke Siridion® spielt eine Schlüsselrolle bei der Einstellung des Brechungsindexes im Kern von optischen Fasern einzustellen.